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商品NO 1230 商品名 UHV超高真空ゲートバルブ(圧空)ICF規格 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ICF152GVP 価格 商品問合せ
特徴 •圧空式超高真空対応ゲートバルブです カタログ
仕様 ボディ:SUS304
使用圧力範囲:1×10-8Pa
メンテナンスサイクル:50,000回
ベークアウト温度:200℃(Open)/150℃(Closed)
べローズ材:AM350
オプション:
電磁弁 ¥18,000
センサー¥12,000
備考 管理NO